如何為半導體應用選擇壓力傳感器？

如何為半導體應用選擇壓力傳感器

半導體行業幾乎影響著當今生活的方方面面。您每天使用的手機、計算機、電視、汽車和其他電子設備都依賴于半導體的存在，這些應用需要專業的高純度設備和儀器來確保安全、高效運行。

壓力傳感器對于半導體工藝至關重要，如何選擇適用于半導體應用的壓力傳感器？本文將重點介紹半導體應用過程中所涉及的因素，以及是什么造就了一臺優秀的壓力傳感器，以便為您的實際應用選擇合適的設備。

半導體工藝

圖片

雅斯科的壓力測量技術和產品，包括配備CVD傳感元件的高純壓力傳感器以及使用 Si-Glas? 超薄單晶硅膜片可變電容傳感元件的微差壓傳感器，在諸如氣體控制面板，氫氣壓力檢測，以及潔凈室關鍵環境控制等應用領域，為半導體制程和設備提供精確的測量和有效的保障。

半導體應用中壓力傳感器的關鍵因素

- 污染控制 -

為了降低成本并提高性能，半導體制造不斷面臨著增加晶片中電路數量和密度的挑戰。為了使電路圖案變得越來越小，在半導體工藝過程中需要進行大范圍的污染控制，以避免即使是最小的外來顆粒也不會對暴露的晶片表面造成損壞。

- 光滑的表面 -

光滑的表面減少了暴露在使用過程中的表面積，并減少了在安裝期間和重復使用后水分或異物粘附在儀器上的機會。

- 優質的材質 -

壓力傳感器的材料必須與過程介質兼容并具有可靠的質量。高純度等級的 316L 不銹鋼最常用于壓力傳感器，因為它們具有高耐腐蝕性和抗氫脆性 —— 這些因素會影響壓力傳感器的長期安全性、可重復性和穩定性。

- 安全認證 -

此外，半導體氣體可能易燃易爆有毒，因此必須選擇具有防爆認證的壓力傳感器，以解決至關重要的安全問題。

雅斯科壓力傳感器

雅斯科ZT/ZX系列高純壓力傳感器基于CVD傳感元件平臺，是超純應用的專用壓力傳感器產品，其產品特性包括能適應不同介質的接液元件材質，如316L, A286，Co-Ni 合金等，也包括VCR接頭，以及符合規范的表面光潔度和測量精度。每臺產品都經過泄漏檢測(<5 x 1012 atmcc/s)以及雙重包裝處理，確保完整性和潔凈度。

該產品系列與多種過程氣體兼容，并在長期過程測量中表現出較高的穩定性。ZX11超高純壓力變送器具有適用于危險區域的 ATEX 和 IECEX 認證證書。

起始于1852年的Ashcroft（雅斯科）公司，在全球布局制造基地，致力于結合應用需求，為本地客戶提供專業的產品與便捷的服務，幫助客戶保護流程，保護人員安全，降低使用成本。

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