Parker派克漢尼汾│CleanFit 專為潔凈室設(shè)計(jì)
半導(dǎo)體工業(yè)起步于由航空工業(yè)發(fā)展而來(lái)的潔凈室技術(shù)。如今,大規(guī)模復(fù)雜的潔凈室輔助工業(yè)已經(jīng)形成,潔凈室技術(shù)也與芯片的設(shè)計(jì)技術(shù)同步發(fā)展。通過(guò)不斷地解決在各個(gè)芯片技術(shù)時(shí)代所存在的污染問(wèn)題,這一工業(yè)自身也得到了發(fā)展。
半導(dǎo)體器件極易受到包括微粒、金屬離子、化學(xué)物質(zhì)以及細(xì)菌等污染, 這些污染物會(huì)對(duì)工藝過(guò)程和器件產(chǎn)生影響:
器件工藝良品率
在一個(gè)污染環(huán)境中制成的器件會(huì)引起多種問(wèn)題。污染會(huì)改變器件的尺寸,改變表面的潔凈度,或者造成有凹痕的表面。高度的污染使得僅有少量的晶片能夠完成全工藝過(guò)程,從而導(dǎo)致成本升高。

器件效能
更為嚴(yán)重的是在工藝過(guò)程中漏檢的小污染。芯片看起來(lái)是干凈的,但其中未能檢測(cè)出來(lái)的不必要化學(xué)物質(zhì),高濃度的可移動(dòng)離子污染物,可能會(huì)改變器件的電性能。

器件可靠性
最嚴(yán)重的莫過(guò)于污染對(duì)器件可靠性的影響。小劑量的污染物可能會(huì)在工藝過(guò)程中進(jìn)入器件,而未被通常的測(cè)試檢驗(yàn)出來(lái)。然而,這些污染物會(huì)在器件內(nèi)部移動(dòng),最終停留在電性敏感區(qū)域,從而引起器件失效。

半導(dǎo)體材料提純是發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ),由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響工藝過(guò)程和產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問(wèn)題。
派克漢尼汾新推出的CleanFit產(chǎn)品,正是為了滿足半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈室要求而設(shè)計(jì)的。

派克漢尼汾CleanFit屬于高潔凈等級(jí)產(chǎn)品,設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué),采用生物兼容性材料制造,100%經(jīng)過(guò)測(cè)試,并且有獨(dú)特的可追溯標(biāo)識(shí)以保證產(chǎn)品質(zhì)量安全可靠,最適合于潔凈室的應(yīng)用。
其生產(chǎn)制造過(guò)程均在潔凈室中進(jìn)行,包括超聲波純水清洗,組裝,檢查和封裝,確保產(chǎn)品高潔凈等級(jí),最大程度降低污染。

Parker Life Sciences生命科學(xué)產(chǎn)品
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